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洁净室空气洁净度等级标准

2019-05-07

洁净室空气洁净度等级标准

ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。

根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

空气洁净度分级标准: ISO14644-1 (国际标准)

空气洁净度等级(N)

大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

1um

5 um

ISO Class 1

10

2





ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7


352 000

83 200

2 930

ISO Class 8


3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9


35 200 000

8 320 000

293 000

注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。

空气洁净度分级标准: GB/T16292-1996 (中国标准)

粒径、数值洁净度级别

尘埃最大允许数/立方米

微生物最大允许数

≥0.5um

≥5um

浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100 级

3,500

0

5

1

10,000 级

350,000

2,000

100

3

100,000 级

3,500,000

20,000

500

10

300,000 级

10,500,000

60,000

15

美国联邦标准 209D 洁净室分级:(已停用)

空气洁净度等级(N)

大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

5 um

1

35

7.5

3

1


10

350

75

30

10

100


750

300

100

1000




1000

7

10000




10000

70

100000

10000

700

英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级:

空气洁净度等级(N)

大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)

0.3um

0.5um

5um

10um

25 um

C

100

35

0



D

1000

350

0

E

10000

3500

0

F


3500

0

G

100000

35000

200

0

H


35000

200

0

J


350000

2000

450

0

K


3500000

20000

4500

500

L



200000

45000

5000

M


450000

50000

各种国际标准的比较:

美国联邦

美国联邦

英国标准

澳大利亚标准

法国标准

德国标准

国际标准

日本标准

标准   209D

标准   209E

BS5295

AS1386

AFNORX44101

VDI2083

14644-1

JACA24







1

1





0

2

2

1

M1.5

C

0.035

1

3

3

10

M2.5

D

0.35

2

4

4

100

M3.5

E

3.5

4000

3

5

5

1000

M4.5

G

35

4

6

6

10000

M5.5

J

350

400000

5

7

7

100000

M6.5

K

3500

4000000

6

8

8



M



7

9

 


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